CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ TĂNG MINH PHÁT

sale16@tmpvietnam.com

danh mục sản phẩm

hỗ trợ tư vấn

0981801821 - 0914408769

Nhân viên kinh doanh

sale16@tmpvietnam.com: 0981801821

zalo

Công Châu TMP: 0981801821

THỐNG KÊ TRUY CẬP

Đang online: 12

Truy cập ngày: 911

Truy cập tuần: 8490

Truy cập tháng: 38237

Tổng truy cập: 1279308

liên kết website

Sản phẩm

Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura
XUẤT XỨ: JAPAN

TÌNH TRẠNG: MỚI 100%

HÃNG SẢN XUẤT: OHKURA

GIÁ BÁN: LIÊN HỆ 0981801821

MÃ SẢN PHẨM : Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

ĐẠI LÝ OHKURA VIỆT NAM

Thông Tin Sản Phẩm
Đánh Giá

Thông Tin Sản Phẩm

Đại lý phân phối chính hãng Ohkura Việt Nam

DF1600 lò xử lý nhiệt Ohkura (lò khuếch tán) được sử dụng cho các quá trình xử lý nhiệt trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

► Đặc trưng

• Lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn từ sản xuất hàng loạt sang sản xuất nhiều loại sản phẩm khác nhau

• Thiết bị này cho phép xử lý công suất nhỏ, tốc độ cao

• Có thể tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao (tương thích với FTP)
• Một lò sưởi độc đáo sử dụng hệ thống gia nhiệt điện trở thẳng đứng cho phép tăng nhiệt độ ở tốc độ cao

• Cho phép cả quá trình xử lý tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao và xử lý tiêu chuẩn

• Thiết bị có phần truyền động có độ tin cậy cao sử dụng hệ thống truyền wafer

• Vận chuyển Wafer được thực hiện từ băng này sang băng khác.

• Thành phần điều khiển sử dụng bảng điều khiển TFT với màn hình cảm ứng

• Có thể vào lò nung wafer ở nhiệt độ thấp, do đó có thể giảm đáng kể ảnh hưởng của sự cuốn vào của không khí.

• Tháo và lắp các ống phản ứng an toàn và dễ dàng

• Hệ thống điều khiển nhiệt độ và lò sưởi sử dụng các phương pháp độc đáo để cải thiện đáng kể các đặc tính phục hồi

► Thông số kỹ thuật

Tốc độ giảm nhiệt độ	50 ° C
Tốc độ tăng nhiệt độ	100 ° C
Structure	Vertical downward-opening system
Process wafer diameter	φ100 mm - φ200 mm
Treatment methods	Batch treatment Treatment of 50 wafers / batch
Cassette storage	Up to 9 cassettes including process, monitor, and dummy cassettes
Processes	WET, DRY, ANNEAL, BAKE, etc.
Usable gases	N2, O2, H2, etc
Wafer handlling	5 wafers batch/1 wafer
Kích thước	(W 900 x H 2200 x D 1980)

Đánh Giá

Sản phẩm cùng loại

Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

XUẤT XỨ: JAPAN

TÌNH TRẠNG: MỚI 100%

HÃNG SẢN XUẤT: OHKURA

GIÁ BÁN: LIÊN HỆ 0981801821

MÃ SẢN PHẨM : Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

ĐẠI LÝ OHKURA VIỆT NAM

Thông Tin Sản Phẩm

Đại lý phân phối chính hãng Ohkura Việt Nam

DF1600 lò xử lý nhiệt Ohkura (lò khuếch tán) được sử dụng cho các quá trình xử lý nhiệt trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

Đánh Giá