Đại lý thiết bị tự động tmp Mr.Châu 0981801821
CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ TĂNG MINH PHÁT
social
sale16@tmpvietnam.com
Tìm kiếm
danh mục sản phẩm
hỗ trợ tư vấn
0981801821 - 0914408769
Nhân viên kinh doanh
sale16@tmpvietnam.com: 0981801821
zalo
Công Châu TMP: 0981801821
social social
THỐNG KÊ TRUY CẬP
Đang online: 13
Truy cập ngày: 273
Truy cập tuần: 5022
Truy cập tháng: 26359
Tổng truy cập: 843700
Sản phẩm
  • Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

  • XUẤT XỨ:     JAPAN 

    TÌNH TRẠNG:     MỚI 100%

    HÃNG SẢN XUẤT:      OHKURA

     

    GIÁ BÁN:     LIÊN HỆ 0981801821

     

     

     

    MÃ SẢN PHẨM : Lò xử lý nhiệt DF1600 Ohkura

     

     

    ĐẠI LÝ OHKURA VIỆT NAM

  • Thông Tin Sản Phẩm
  • Đánh Giá

Đại lý phân phối chính hãng Ohkura Việt Nam

DF1600 lò xử lý nhiệt Ohkura (lò khuếch tán) được sử dụng cho các quá trình xử lý nhiệt trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

 Đặc trưng

        • Lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn từ sản xuất hàng loạt sang sản xuất nhiều loại sản phẩm khác nhau

        • Thiết bị này cho phép xử lý công suất nhỏ, tốc độ cao

        • Có thể tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao (tương thích với FTP)
        • Một lò sưởi độc đáo sử dụng hệ thống gia nhiệt điện trở thẳng đứng cho phép tăng nhiệt độ ở tốc độ cao 

        • Cho phép cả quá trình xử lý tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao và xử lý tiêu chuẩn

        • Thiết bị có phần truyền động có độ tin cậy cao sử dụng hệ thống truyền wafer

        • Vận chuyển Wafer được thực hiện từ băng này sang băng khác.

        • Thành phần điều khiển sử dụng bảng điều khiển TFT với màn hình cảm ứng

        • Có thể vào lò nung wafer ở nhiệt độ thấp, do đó có thể giảm đáng kể ảnh hưởng của sự cuốn vào của không khí.

        • Tháo và lắp các ống phản ứng an toàn và dễ dàng

        • Hệ thống điều khiển nhiệt độ và lò sưởi sử dụng các phương pháp độc đáo để cải thiện đáng kể các đặc tính phục hồi

 Thông số kỹ thuật

Tốc độ giảm nhiệt độ

50 ° C

Tốc độ tăng nhiệt độ

100 ° C

Structure Vertical downward-opening system
Process wafer diameter φ100 mm - φ200 mm
Treatment methods Batch treatment
Treatment of 50 wafers / batch
Cassette storage Up to 9 cassettes including process, monitor, and dummy cassettes
Processes WET, DRY, ANNEAL, BAKE, etc.
Usable gases N2, O2, H2, etc
Wafer handlling 5 wafers batch/1 wafer
Kích thước

(W 900 x H 2200 x D 1980)

Sản phẩm cùng loại
Sản phẩm cùng loại
Copyright © 2019 CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ TĂNG MINH PHÁT. Design by Nina.vn
Đại lý thiết bị điện tự động tmp,Cung cấp tất cả các thiết bị tự động hóa Đại diện chính hãng tại việt nam về thiết bị tự động hóa